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佛山退火炉 可以集成到其他炉子中处理

  佛山退火炉的热处理是根据不同的效果而设计的,适用范围非常广,它采用的是纤维结构和超节能结构,能为用户节省百分之60的电量, 感兴趣的话就随优造节能小编一起来了解下吧!


  佛山退火炉

  佛山退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

  佛山退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。佛山退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。佛山退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电60%。

佛山退火炉

佛山退火炉



  结构

  佛山退火炉骨架由各种型钢焊接而成,外框用槽钢作主梁,围板采用冷薄板,台车用槽钢作主梁,底板及前后端板采用中板。佛山退火炉传动部分:台车传动采用电动机、减速机通过链条带动前端一组主动轮传动。炉门传动是采用蜗轮减速机和电动机组合电动升降。密封:台车与炉体密封采用迷宫式结构,并在台车两侧有自动沙封刀密封装置。炉门密封采用滚道式压紧和弹簧压紧自动机构密封该炉炉体部分采用优质耐火砖结构,保证炉膛密封性。在台车耐压部分采用高铝砖砌筑,下部均添保温砖保温。佛山退火炉燃烧系统:在油炉两侧各安装数只烧咀,热流在炉内往复循环,确保炉温均匀性。根据需要可选定自动型和半自动型。

佛山退火炉 可以集成到其他炉子中处理

佛山退火炉



  以上就是关于佛山退火炉的相关介绍,该产品的外框是使用槽钢作主梁的,有着稳定可靠的特点,还想了解更多资讯就多关注优造节能网站吧!





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