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热退火 越来越受到人们的关注

  热退火作为工业上制作机械部件很重要的一种方法,很多大厂都是非常注重的,毕竟是一个高温情况下生产产品的地方,安全事故还是要注意的,如果你有兴趣,那就随小编携手优造节能了解更多的资讯吧。

热退火 越来越受到人们的关注

热退火



  热退火

  热退火工艺提供了一种用于加工基材的方法,所述方法包括:提供具有表面的基材;提供共聚物组合物,所述共聚物组合物包括:聚(苯乙烯)-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物组分,其中聚(苯乙烯 )-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物组分的数均分子量是5到1,000kg / mol;抗氧化剂,其中共聚物组合物包含>2wt%的抗氧化剂,基于嵌段共聚物组分的重量 ;施加上述共聚物组合物的薄膜到基材表面;任选地,烘焙上述薄膜;通过在240到35C℃ 和包含> 20wt%02的气体气氛下加热薄膜1秒钟到4小时来退火上述薄膜;处理上述退火薄膜以从退火薄膜中除去聚(苯乙烯)嵌段和将退火薄膜中的聚(硅氧烷)嵌段转换成SiOx。

热退火 越来越受到人们的关注

热退火



  作为一种新兴的光刻技术越来越受到人们的关注

  在定向自组装中的应用:近两年来,嵌段共聚物定向自组装( DSA, Directed Self-Assembly of BlockCopolymer)光刻技术作为一种新兴的光刻技术越来越受到人们的关注。其原理与之前所叙述的几种技术有很大不同,是利用嵌段共聚物在热退火或溶剂退火等条件下分相形成纳米结构,以形成的纳米结构作为模板对衬底进行刻蚀实现图形化的一种技术。



  希望这篇文章的介绍能让您对热退火有所了解,虽说这种方式可能对一般人没有很多的用处,但是从这方面工作的朋友一定要知道,如果你想了解更多,那就关注,优造节能吧。

















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